LabWorld 100G 离子精修仪专为便捷的表面精修设计,能将经前期 FIB 制备的样品,转化为无缺陷、无伪影的完美样品,可直接用于超高分辨率成像。专利低能量量离子枪技术确保样品表面洁净无瑕、 结构完整性不受影响,实验结果持续突破现代材料研究的边界。
· 离子枪:100 - 2000 eV,连续可调
· 样品台:从 ±10° 到 ±120° 移动,每 10° 连续可调
· 成像系统:用于全视觉控制和切削监控/终止的 CMOS 相机图像
· 供气系统:99.999% 纯氩气,绝对压力为 1.3 - 1.7 bar
· 真空系统:Pfeiffer 真空系统配备无油隔膜和涡轮分子泵,配备紧凑 的全范围 Pirani / Penning 真空计
FIB/TEM 制样设备 LabWorld 100G 离子精修
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